2007-01-23 日立,MEMSとCMOS回路を積層した小型・低消費電力の圧力センサLSIを試作---LSI面積を従来比で約1/10,消費電流を半分以下に低減 MEMS http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20070122/126682/