自動車アプリケーション向けMEMS

http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20061218/125558/
　自動車は，依然としてMEMS（micro electro mechanical systems）開発の推進力となっている。本稿では，加速度/角速度センサー，タイヤ空気圧監視システム（TPMS：tire pressure monitoring system）およびマイクロ・ミラー・デバイスなどのMEMSの自動車向けアプリケーションに重点を置いて解説する。