米DARPAプロジェクト，MEMSをCMOSに集積

　CMOSチップへのMEMS素子の集積を目的として，米国の研究機関，企業，大学が，新たに共同研究を開始した。米国エネルギー省アルゴンヌ国立研究所からのスピンオフ企業であるAdvanced Diamond Technologies（ADT）,Inc.は，MEMSのパイオニア的企業である米Innovative Micro Technology, Inc.と米University of Wisconsin-Madisonとの提携契約を締結した。
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