三菱電機 Siアンテナ

●“Siアンテナ”の低コスト化手法,三菱電機が提案
 三菱電機は,Siウエーハを使って構成するアンテナを低コストに実現する手法を開発,「MEMS 2006」で発表した(論文番号:MP48)。Siウエーハ上にアンテナを形成すると,他のRF部品もここに混載することが容易になり,低コストで小型のアンテナ一体RFモジュールが実現できるようになる。
http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20060124/112631/