トヨタ自動車 櫛田氏、「MEMSセンサをVDIMのキーデバイスに」

トヨタ自動車 第3電子開発部 主査 櫛田知義氏は10月6日、エレクトロニクス実装学会主催の第47回エレクトロニクス実装学会セミナーにおいて、「車載MEMSの開発動向」と題して講演した。最近のLuxury Carでは、基本性能の向上や衝突安全、予防安全システム、エンジン制御などで、約70種類、100個以上のセンサが搭載されており、小型・低コスト化に貢献できるMEMSセンサにとっては、活躍の場として期待されている。すでに、Luxury Car1台当たり8個のMEMSセンサがエアバッグなどで使用されており、SOIウェーハを用いた表面マイクロマシニングで製造している。同社では、ブレーキ制御、駆動力制御、ステアリング制御を統合した車両運動制御システム「VDIM（Vehicle Dynamics Integrated Management）」を推進している。今後は、同システムのキーデバイスであるヨーレートセンサにMEMS技術を応用していきたいとした。