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●CMOSプロセスによる触覚センサー
台湾National Tsing Hua Universityは,ほとんどの工程をCMOSプロセスで実現できる触覚センサーを開発,「MEMS 2006」で発表した(講演番号:TPa34)。
→ http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20060125/112674/
●直方体のジャイロ・センサー
兵庫県立大学は,数mm程度の直方体という単純な形状の1軸ジャイロ・センサーを開発,開催中の学会「MEMS 2006」で発表した(講演番号:TPa32)。
→ http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20060125/112673/